１．ナノファブリケーション
ナノメートル微細加工技術である電子線露光法により素子を作製をしています。
電子線露光装置
フォトリソグラフィー装置
２．測定装置
ナノメートルのサイズ領域で量子相関が顕在化する半導体の物性とデバイスを主にレーザー光を使った測定により研究しています。
チタンサファイアレーザ, Ti: Sapphire lasers
ベクトル波形整形器, Vector-Field shaper
ダイヤモンドNVセンター磁気顕微鏡, Diamond NV center magnetometry
近接場走査型光学顕微鏡, Near field scanning optical microscope
3 K 無冷媒冷凍機, 3 K Cryogen free optical cryostat
0.3 K 無冷媒冷凍機, 0.3 K Cryogen free optical cryostat
卓上希釈冷凍機、Table dilution refrigerator
